半導體檢測的測試系統(tǒng)稱為ATE，由電子電路和機械硬件組成，是由同一個主控制器指揮下的電源、計量儀器、信號發(fā)生器、模式的合體，用于模仿被測器件將會在應用中體驗到的操作條件，以發(fā)現(xiàn)不合格的產品。

測試系統(tǒng)硬件由運行一組指令(測試程序)的計算機控制，在半導體檢測時提供合適的電壓、電流、時序和功能狀態(tài)給DU測試的結果和預先設定的界限，做出相應的判斷。

半導體檢測的測試程序的目的是控制測試系統(tǒng)硬件以相應的方式保障被測器件達到或超過它的那些被具體定義在器件規(guī)格書里的程序通常分為幾個部分，如DC測試、功能測試、AC測試等。DC測試驗證電壓及電流參數;功能測試驗證芯片內AC測試，以保障芯片能在特定的時間約束內完成邏輯操作。